Particle-PLUS 事例集 - RFマグネトロンスパッタ
計算概要Computation Summary
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、RFマグネトロンスパッタの解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
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立ち上がりの電子数密度（