Particle-PLUS　事例集 - 円筒型マグネトロンスパッタ

計算概要Computation Summary

長い円筒（パイプ）の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSで利用可能な、①軸対称モデルと、②鏡面対称境界条件を組み合わせることで、装置全体のシミュレーションを行う必要なく、 高速に結果を得ることができます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）