Particle-PLUS ソフトウェア詳細 - 豊富な物性データ

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プラズマプロセスでよく用いられるガス種やスパッタリングターゲット罪などの物性データが、Particle-PLUSには標準で付属しています。 これらはデータベースにして管理されており、お客様ご自身でデータを追加・編集することも可能です。 また、データ追加の補佐も承っております。

図:気相反応データベース(左)と気相反応データの詳細(右)の例。

図:標準データベースに登録済みのガス種およびターゲット材(単体物質)。 ガス種については表で示したほかにSiH4やCF4等の化合物ガスも用意されています。 また、計算ではそれらの混合ガスを考慮することも可能です