Particle-PLUS ソフトウェア詳細 - 考慮できる物理・化学現象

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Particle-PLUSは、以下のような現象を同時に考慮・評価できるソフトウェアです。 今後もお客様のニーズ・ご意見により常に新たな機能を追加していく予定です。

粒子の運動Motion of particle

荷電粒子(電子・イオン)の運動

  • 電場により生じる力
  • 磁場により生じる力(→サイクロトロン運動)
  • 重力による効果

中性粒子の運動(ガス流れ)

  • 重力による効果

プラズマ現象

  • プラズマ振動
  • プラズマシースの形成

電磁場Electromagnetici field

印加電圧

  • 直流
  • 交流

自己バイアス効果

外部磁場・磁性体・磁器ヨーク

外部回路(マッチング回路)

  • 抵抗
  • コンデンサー
  • コイル

誘導加熱

誘電加熱

気相の衝突・反応Collision/Reiaction of gas

弾性衝突

非弾性衝突

反応性衝突

  • 電離・結合
  • 電子付着
  • 電荷移動
  • 励起(電子・回転*・振動*
  • 解離*
  • 原子交換

* 分子性気体の場合に考慮

表面の現象Phenomena on surface

流出入

反射

堆積(吸着・デポジション)

蒸発・脱離

2次粒子放出(スパッタリングを含む)

浮遊電極や誘電体表面の帯電