Particle-PLUSで考慮できる物理現象・化学現象
Particle-PLUSは、以下のような効果や現象を同時に考慮・評価できるソフトウェアです。 今後もお客様のニーズ・ご意見により常に新たな機能を追加していく予定です。
粒子の運動Motion of particle
荷電粒子（電子・イオン）の運動
- 電場中の運動
- 磁場中の運動（→ サイクロトロン運動、磁気ミラー効果）
- 電場、磁場中の運動（→ E×Bドリフト）
荷電粒子の集団効果・集団現象
- デバイ遮蔽
- プラズマ振動
- イオンシースの形成
- 質量輸送、運動量輸送、エネルギー輸送
- 電子とイオンで非平衡の温度（→ 低温プラズマ）
中性粒子の運動
- 背景気体の流れ
- プラズマ中の励起種、中性ラジカルの拡散
- スパッタ粒子の飛散
- 重力による作用
電磁場Electromagnetici field
電場
- 電極による電場（→ 高周波成分による誘電加熱）
- プラズマの自己場
- 表面帯電の効果
磁場
- 磁石アレイによる磁場
- コイルによる誘導磁場（→ 誘導加熱）
- 磁性体、磁気ヨークの磁化
電源
- 直流 / 交流（正弦波、矩形波、パルス波など）
- 2周波以上の重ね合わせ
気相衝突・気相反応Collision/Reiaction of gas
弾性衝突
非弾性衝突、反応性衝突
- 電子励起、電離（イオン化）
- 電子付着、電荷移動
- 分子の回転励起、振動励起、解離、再結合、原子移動、原子交換
表面の現象Phenomena on surface
蒸発、吸着（堆積）
反射
スパッタリング
- 原子放出
- 2次電子放出
- 金属ターゲット、酸化物・窒化物ターゲット
帯電効果
- 誘電体表面
- 浮遊電極
- 整合回路に接続されたブロッキングコンデンサ（→ 自己バイアス効果）
生成されるプラズマVariety of Plasma
容量結合型プラズマ（CCP）
誘導結合型プラズマ（ICP）
マグネトロン型プラズマ
それらの複合型
- マグネトロン支援型CCP、ICP支援型マグネトロンプラズマ、等
