Particle-PLUS　事例集 - 対向ターゲット式スパッタ

計算概要Computation Summary

基盤に低ダメージな成膜手法のひとつである、対向ターゲット式スパッタの解析事例です。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）