Particle-PLUS　事例集 - フィルタードアーク蒸着法によるDLC成膜

計算概要Computation Summary

水素フリーでsp³構造成分が多いDLC（ダイヤモンドライクカーボン）膜であるta-C（tetrahedral amorphous carbon）膜を成膜する手法のひとつである、 フィルタードアーク蒸着（FAD: Filtered Arc Deposition）に関する解析事例です。 Particle-PLUSでは荷電粒子の運動が追跡できるため、炭素イオンが磁場中でどのように移動するかのシミュレーションを行うことができます。 また、熱泳動や抵抗力を考慮した微粒子解析モデルにより、FADで問題視されるドロップレットの挙動を追跡することができます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）

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