Particle-PLUS 事例集 - DCマグネトロンスパッタ（3D）
計算概要Computation Summary
プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタの解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。
3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。
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