Particle-PLUS　事例集 - DCマグネトロンスパッタ

計算概要Computation Summary

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）