Particle-PLUS　事例集 - プラズマCVDによるDLCコーティング

計算概要Computation Summary

Particle-PLUSではプラズマCVDの解析が可能であり、DLC（ダイヤモンドライクカーボン）の成膜パラメータを評価することが可能です。 ここでは例として、メタンガスをプラズマ化させて得られるイオンやラジカルの分布を解析しています。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）

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