Particle-PLUS 事例集 - CCP装置の3次元解析
計算概要Computation Summary
代表的なプロセス装置のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）装置に関するプラズマ解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にシミュレーションを行うことができます。
（PDFが表示されないときはここをクリックするか、
ページの再読み込みをしてください。）
ギャラリーGallery
動画の再生およびダウンロードが可能です。
※ 動画再生はMP4形式の再生に対応したブラウザのみ可能です。
電子数密度（