Particle-PLUS 事例集 - CCPによるクリーニング処理
計算概要Computation Summary
代表的なドライエッチング手法のひとつである、CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する解析事例です。
Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速にエッチング率などのシミュレーションを行うことができます。
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電子数密度（