Particle-PLUS 事例集 - DCマグネトロンスパッタ(3D)

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計算概要Computation Summary

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタの解析事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。 3D計算は、2D計算と比較して計算コストは大きくなりますが、より複雑な形状とそこからの影響を考慮してシミュレーションを行えます。 (PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。)

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