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事例
VizGlowの計算例: 単純な反応器中のCCP(容量結合プラズマ)
![](images/1.png)
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz
一般的な反応器中のCCP
![](images/2.png)
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 100.0 MHz
流れを伴う低圧反応器中のCCP
![](images/3.png)
ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHz
流れを伴う低圧反応器中のCCP
![](images/4.png)
ガス種 CF4、 圧力 20 mTorr、 周波数 100.0 MHzA
高圧反応器中のCCP
![](images/5.png)
ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz
高圧反応器中のCCP
![](images/6.png)
ガス種 Ar、 圧力 1 Torr、 周波数 13.56 MHz
事例
VizGlowの計算例: 大気中のストリーマ
![](images/7.png)
ガス種 Air 、 圧力 760Torr、 電圧 10000 V
事例
ドーム型反応器中のICP(誘導結合プラズマ)
![](images/8.png)
ガス種 Ar、 圧力 5 mTorr、 周波数 0.46 MHz、 電力 2000 W
流れを伴うICP
![](images/9.png)
ガス種 Ar、圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm
![](images/10.png)
ガス種 Ar、 圧力13.3Pa、 周波数 13.56 MHz、 電力 300 W、 流量 100 sccm
バイアスを伴った自己無撞着ICP
![](images/11.png)
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr、 周波数 13.56 MHz、 バイアス -100 V、 電力 1000 W
事例
一般的な反応器中のマイクロ波プラズマ
![](images/12.png)
ガス種 Ar、 圧力 97.5 mTorr、 周波数 2.45 GHz、 電力 1000 W
事例
VizGlowの計算例: DCマグネトロンプラズマ
![](images/13.png)
![](images/14.png)
![](images/15.png)
ガス種 Ar、 圧力 50 mTorr
事例
VizGlowの計算例: L字導波管中の電磁波
![](images/_16.png)
周波数 1.50 GHz、 内部の比誘電率 1.0、 電磁波の成分 TM