プラズマのガス種・気相反応データベース
プラズマプロセスでよく用いられるガス種やスパッタリングターゲット材などの物性データが、Particle-PLUSには標準で付属しています。 これらはデータベースにして管理されており、お客様ご自身でデータを追加・編集することも可能です。 また、データ追加の補佐も承っております。 酸化物・窒化物などのデータ収集が困難な標準外ターゲットについての物性データ作成サポートについても承っております。 （弊社で取り扱っている材料系シミュレータ「Materials Studio」を活用してご希望の物性データを作成します。）
 |
 |
図：気相衝突反応データ一覧（左）と各反応過程詳細（右）の例。
図：標準データベースに登録済みのガス種およびターゲット材（単体物質）。
プラズマ計算用 ガス種データ一覧List of Plasma-Gas Data
一般ガス・貴ガス（希ガス）
- 水素 H2
- 窒素 N2
- 酸素 O2
- ヘリウム He
- ネオン Ne
- アルゴン Ar
- クリプトン Kr
- キセノン Xe
特殊材料ガス（一部）
- モノシラン SiH4
- アンモニア NH3
- 亜酸化窒素 N2O
各種混合ガス
腐食性ガス（一部）
- フッ素 F2
- 塩素 Cl2
- 塩化水素 HCl
- 臭化水素 HBr
- 三フッ化窒素 NF3
- 三塩化ホウ素 BCl3
- フロン-14 CF4
- フロン-23 CHF3
- フロン-116 C2F6
- フロン-C318 C4F8
その他のガス
- メタン CH4
- 重水素 D2
スパッタリング計算用 ターゲット材料データ一覧List of Sputtering-Target Data
酸化物ターゲット（一部）
二元系酸化物
- 酸化ケイ素(IV) SiO2
- 酸化アルミニウム(III) Al2O3
- 酸化チタン(IV) TiO2
- 酸化ハフニウム(IV) HfO2
- 酸化タンタル(V) Ta2O5
- 酸化亜鉛 ZnO
- 酸化インジウム(III) In2O3
- 酸化スズ(IV) SnO2
三元系酸化物
- ITO InxSn(2-x)O3
- ZTO Zn2SnO4
- AZO ZnAl2O4
- GZO ZnGa2O4
- チタン酸バリウム BaTiO3
- チタン酸鉛(II) PbTiO3
- ニオブ酸リチウム LiNbO3
- チタン酸リチウム LiTaO3
窒化物ターゲット（一部）
二元系窒化物
- 窒化アルミニウム AlN
- 窒化チタン TiN
- 窒化インジウム InN
- 窒化ガリウム GaN
三元系窒化物
- AlGaN AlxGa(1-x)N
- InGaN InxGa(1-x)N
単体ターゲット（一部）
強磁性金属
- 鉄 Fe
- コバルト Co
- ニッケル Ni
貴金属
- 金 Au
- 銀 Ag
- 白金 Pt
- イリジウム Ir
- ルテニウム Ru
- ロジウム Rh
- パラジウム Pd
その他の金属
- アルミニウム Al
- チタン Ti
- バナジウム V
- クロム Cr
- マンガン Mn
- 銅 Cu
- 亜鉛 Zn
- ジルコニウム Zr
- ニオブ Nb
- モリブデン Mo
- インジウム In
- スズ（錫） Sn
- ハフニウム Hf
- タンタル Ta
- タングステン W
半金属・非金属
- 炭素 C
- ホウ素 B
- ケイ素 Si
- テルル Te
