Particle-PLUS　事例集 - 2周波CCPのプラズマ解析

計算概要Computation Summary

CCP（容量結合プラズマ）装置のプラズマ解析に関する事例です。 Particle-PLUSは真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、 電極が複数ある場合や重畳周波数を印加する場合に対しても高速にシミュレーションを行うことができます。 （PDFが表示されないときはここをクリックするか、 ページの再読み込みをしてください。）

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