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3次元希薄気体解析ソフトウェア

DSMC-Neutrals はモンテカルロ直接法 ( DSMC- Direct Simulation Monte Carlo ) を用いた3次元希薄気体解析ソフトウェアです。 非構造メッシュを用いることにより、複雑な形状のシミュレーションが可能です。 また、化学反応の計算も可能であり、真空チャンバー内の希薄なガス流れはもちろんのこと、化学蒸着 ( CVD - Chemical Vapor Deposition )などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーションにも適しています。

有機EL(OLED)シミュレーション

有機膜の結晶成長である有機ルミネッセンス(有機EL)シミュレーションの事例を以下に示す。ガス圧は3[Pa]と中真空の領域である。Fig.3よりShtein等の実験をDSMC-Neutralsのシミュレーション結果が再現していることがわかる。本計算事例では有機材料が蒸発するセルとノズル内の計算は省略しているが、DSMC-Neutralsでは蒸着モデルも組み込まれているために、蒸発セルとノズル内のガス流れを計算することも可能である。

FIg.1    計算モデル

有機EL計算モデル

FIg.2    計算結果@:Alq3密度分布

有機EL Alq3密度分布

Fig.3    計算結果A:実験値との比較

圧力分布 [ Pa ]

参考文献

Takao Wada and Noriaki Ueda, J. Appl. Phys. 113, 154503 (2013)

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