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DSMC-Neutrals　解析事例 - 有機EL(OLED)シミュレーション

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DSMC-Neutralsはモンテカルロ直接法（Direct Simulation Monte Carlo Method；DSMC法）を用いた3次元希薄気体解析ソフトウェアです． 非構造メッシュを用いることにより，複雑な形状のシミュレーションが可能です． また，化学反応の計算も可能であり，真空チャンバー内の希薄なガス流れはもちろんのこと， 化学蒸着（Chemical Vapor Deposition；CVD）などの半導体製造における薄膜生成のシミュレーションにも適しています． 本記事を読んで希薄気体解析・ガス流れシミュレーションに少しでも興味をお持ちになりましたら 資料請求や 無料セミナーなど承りますので， いつでもお気軽にお問い合わせください．

有機EL(OLED)シミュレーションOLED Simulation

有機膜の結晶成長である有機ルミネッセンス(有機EL)シミュレーションの事例を以下に示す。 ガス圧は 3 Pa と中真空の領域である。以下に示すシミュレーション結果よりShtein等の実験をDSMC-Neutralsが再現していることがわかる。 本計算事例では有機材料が蒸発するセルとノズル内の計算は省略しているが、DSMC-Neutralsでは蒸着モデルも組み込まれているために、 蒸発セルとノズル内のガス流れを計算することも可能である。



有機EL計算モデル

▲ 計算モデル



有機EL Alq3密度分布 実験値との比較

▲ 計算結果 （左）Alq3密度分布 （右）実験値との比較. □: DSMC-Neutralsの結果



参考文献Reference

    Takao Wada and Noriaki Ueda, J. Appl. Phys. 113, 154503 (2013), http://dx.doi.org/10.1063/1.4799055


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