Particle-PLUS/DL はプラズマ解析のためのアプリケーションであり、 深層学習による代理モデルを用いてマグネトロンプラズマ、容量結合プラズマ(CCP)、誘導結合プラズマ(ICP) 等の様々なプラズマをシミュレートします。 高速なシミュレーションはパラメトリックスタディを可能にし、成膜プロセスやエッチングプロセスの最適化を支援します。
| 入力変数 | |||
|---|---|---|---|
| 装置の種類 | マグネトロン プラズマ |
CCP | ICP |
| 装置サイズ | (D) | 〇 | 〇 |
| 電極(直流) | 〇 | × | × |
| 電極(高周波) | × | 〇 | × |
| 磁石 | 〇 | × | × |
| 磁気コイル | × | × | 〇 |
| ガス圧力 | (C) | (C) | (C) |
| 混合ガス | (C) | (C) | (C) |
| 出力変数 | |||
|---|---|---|---|
| 装置の種類 | マグネトロン プラズマ |
CCP | ICP |
| 電子密度 | 〇 | 〇 | 〇 |
| イオン流束 | 〇 | 〇 | 〇 |
| 電子温度 | (C) | (C) | (C) |
利用者が機械学習用のサンプルデータを用意する必要はありません。 なぜなら Particle-PLUS/DL には既に検証済みの代理モデルが組み込まれているからです。 それらのモデルは、CAEシミュレーションで得られた結果をニューラルネットワークの手法で学習して作成されています。
学習範囲の理由から Particle-PLUS/DL では入力パラメータが制限されています。 より複雑なプラズマ系 (例えばマグネトロンとCCPの複合、マグネトロンとICPの複合、異なる周波数が重畳されたCCP、混合ガスプラズマ、等 のシミュレーションをもしご希望でしたら、次のシミュレータ製品もご検討ください。
